진공장비 (Vacuum System)
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터치패널과 데이터로거를 이용한 진공장비
진공장비
- 7"터치패널을 이용한 밸브 및 장치제어
- 솔레노이드밸브를 타임설정하여 가스의 주입시간을 조절 및 반복수행
- 진공도 10E-3 Torr
- 데이터로깅장치 ( 메모리카드에 저장가능)
- Up/Down Door Open System
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