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가스분석시스템 (Gas Measurement System)
챔버 내부로 가스를 흘러주며 샘플의 전기적인 특성을 평가하는 장치
Vacuum System
- Max. Pressure: 10E-3Torr
- Vacuum Heator Max 600deg.
- Electrical Feedthrough & Contact pin pkg
- Mass Flow Controller & Read Out Unit
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