고진공퍼니스 (Hi Vacuum Furnace)
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고진공퍼니스 (Hi Vacuum Furnace)
터보펌프를 이용한 고진공퍼니스입니다. 10E-6Torr
고진공용 진공퍼니스입니다.
- Turbo Pump 10E-6Torr
- MFC설치가능 ~8채널
- 프로그램온도제어
- 공압방식의 밸브사용으로 판낼에서 스위치로 밸브조작
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